如果想獲得高真空的話必須選用
氣冷羅茨往復(fù)泵真空機(jī)組，而真空機(jī)組需要的羅茨真空泵不能直排大氣，如直排大氣會(huì)形成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過(guò)載，如單純加大羅茨真空泵電機(jī)功率又會(huì)形成羅茨真空泵過(guò)熱致使羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的微小間隙很快因熱收縮而卡死。為保證羅茨真空泵能到達(dá)較高真空必需保證羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。所以羅茨真空泵運(yùn)用時(shí)必需設(shè)有前級(jí)泵，用前級(jí)泵將系統(tǒng)內(nèi)壓力抽至一定范圍內(nèi)時(shí)再啟動(dòng)羅茨真空泵，如此能夠防止羅茨真空泵過(guò)載。前級(jí)泵能夠選用水(液)環(huán)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復(fù)式真空泵等可直排大氣的真空泵。
氣冷羅茨往復(fù)泵真空機(jī)組在普通狀況下，選用水環(huán)泵作為前級(jí)泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它可以抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵掃除可凝性蒸汽才能不夠，或運(yùn)用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時(shí)分更為明顯。
主泵怎么選擇好
一、根據(jù)真空室所需要建立的極限壓力確定主泵的類型。
一般主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
二、根據(jù)真空室進(jìn)行工藝生產(chǎn)時(shí)所需要的工作壓力選主泵。
真空泵選型中選擇主泵的時(shí)候應(yīng)正確地選擇主泵的工作工藝環(huán)境，在其工作壓力范圍內(nèi)，應(yīng)能排除真空室內(nèi)工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。因此，真空室內(nèi)的工作壓力一定要在主泵的抽速壓力范圍之內(nèi)。
三、根據(jù)真空室的容積大小和要求的抽氣時(shí)間來(lái)選擇主泵。
真空泵選型中，真空室體積大小對(duì)系統(tǒng)抽到極限真空的時(shí)間有影響。當(dāng)抽氣時(shí)間要求一定時(shí)，若真空室體積越大，則主泵抽速也越大。
四、正確地組合真空泵。
因?yàn)楦鞣N真空泵的性能不同，因而有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。
五、若真空系統(tǒng)嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，則應(yīng)該選各種無(wú)油泵作主泵。如果要求不嚴(yán)格，則可選擇有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。
六、選擇真空泵時(shí)，應(yīng)該知道被抽氣體成分，針對(duì)被抽氣體成分選擇相應(yīng)的真空泵。如果氣體中含有腐蝕性氣體、顆粒灰塵等，則應(yīng)該考慮選擇干式真空泵、耐腐蝕真空泵等，或在泵的進(jìn)氣口管道上安裝輔助設(shè)備。
七、根據(jù)整套真空系統(tǒng)的初次投資和日常維護(hù)費(fèi)用等經(jīng)濟(jì)指標(biāo)選擇主泵。
