羅茨真空泵是在較低入口壓力時(shí)具有較高的抽氣速率,但它不能單獨(dú)使用,必須有一臺(tái)前級(jí)真空泵串聯(lián),待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級(jí)真空泵抽到羅茨真空泵允許人口壓力時(shí),羅茨真空泵才能開(kāi)始工作,并且在一般情況下,羅茨真空泵不允許高壓差時(shí)工作,否則將會(huì)過(guò)載和過(guò)熱而損壞,因此使用羅茨真空;泵時(shí)必須合理地選用前級(jí)真空泵,安裝必要的保護(hù)設(shè)備。
羅茨真空泵一般為油封機(jī)械泵,但如果極限壓力要求不高時(shí),可選用其他形式的粗真空泵作為前級(jí)泵。特別在抽除有大量水蒸汽的氣體時(shí),選用水環(huán)真空泵作為前級(jí)泵是很理想的,當(dāng)然所能達(dá)到的極限壓力要差些。